CVD制备炭/炭复合材料过程中天然气利用率影响因素研究

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研究了样品密度、装炉方式、工艺参数、热场等因素对化学气相沉积制备炭/炭复合材料过程中天然气利用率的影响。结果表明,在工艺参数一定的前提下,天然气利用率随样品密度增大而降低;且在化学气相沉积炉内,密度为(0.45±0.05)g/cm3的样品采用样品与气流方向平行的装炉方式,在温度1 065℃,CH4和N2通气量分别为20 m3/h和8 m3/h、炉压2.9 kPa条件下,天然气利用率最高可达48.15%。
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