256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pigdd

【摘要】

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报道了用分子束外延（MBE）方法生长掺杂InGaAs的PIN InP／InGaAs／InP外延材料，通过台面制作、硫化处理、ZnS／聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺，制备了256元正照射台面InGaAs线列探测

【作者】

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吕衍秋韩冰白云徐萌唐恒敬孔令才李雪张永刚龚海

【机构】

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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院研究生院

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2008年1期

【关键词】

：

探测器焦平面 INGAAS 钝化扫描成像 detector focal plane array InGaAs passivation scanning im

【基金项目】

：

国家自然科学基金重点资助项目（50632060）

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报道了用分子束外延（MBE）方法生长掺杂InGaAs的PIN InP／InGaAs／InP外延材料，通过台面制作、硫化处理、ZnS／聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺，制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器，278K时平均峰值探测率为1．33×10^12 cmHz^1/2W^-1．测试了不同钝化方式探测器典型Ⅰ-Ⅴ曲线和探测率。硫化可以减小探测器暗电流，ZnS／聚酰亚胺双层钝化效果最好．并对ZnS／聚酰亚胺双层钝化InGaAs探测器进行了电子辐照研究．256元InGaAs探测器阵列与两个C

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