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利用固相反应制备了直径为70mm，厚度为10-15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材，实验了不同摩尔浓度的Li^＋掺杂对靶材性能的影响，确定了最佳Li^＋掺杂量为2．2mol％，同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺，并采用所制备的ZnO-Li2.2％陶瓷靶和RF（射频磁控）技术在Si（100）、玻璃（载玻片）、及Pt（111）／Ti／SiO2／Si（100）基片上制备出高度c轴（002）择优取向的ZnO薄膜，其绝缘电阻率P为4．12×10^8Ω