【摘 要】
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设计了一款基于压电陶瓷和柔性铰链的二维解耦精密定位平台,平台采用对称布置的双平行四杆复合机构实现解耦。基于Awtar模型,对平台载荷-位移关系进行分析,推导出平台在X、Y
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金项目(51305019)
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设计了一款基于压电陶瓷和柔性铰链的二维解耦精密定位平台,平台采用对称布置的双平行四杆复合机构实现解耦。基于Awtar模型,对平台载荷-位移关系进行分析,推导出平台在X、Y方向上的位移及耦合位移表达式。ANSYS有限元仿真表明,最大耦合发生在平台最大为一处。在平台位移最大时,理论计算的耦合误差达到最大,为0.39%。这与有限元仿真分析得到的0.33%的结果接近。最后,利用显微视觉测量方法对平台X和Y方向的耦合误差进行了实验测试,实验结果表明,耦合误差随着平台运动位移的增大而增大,最大值为1.8%,与理论仿真趋势吻合。
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