光CVD法制作电子薄膜材料

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiaxing19871215
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在近几年来的电子器件制备中,对三维的各方向均提出了微细化和在平面内均匀性等高精度和优良的可控性要求.为此,对新的薄膜制法和加工方法进行了广泛的研究,为新型电子器件的实现做出了很大的贡献.最近几年,在薄膜制备中采用光能的方法引起了人们的关注. In recent years, electronic devices have been proposed in various directions for three-dimensional miniaturization and in-plane uniformity and other high precision and excellent controllability requirements.To this end, the new film preparation method and processing method Extensive research has made great contributions to the realization of new electronic devices.In recent years, the method of using light energy in the preparation of thin films has aroused people’s attention.
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