硅膜相关论文
硅膜是一种重要的材料，在半导体、电子、锂离子电池、医学、尤其太阳能电池领域均有应用。然而传统硅膜制备方法是以有机硅为原料，存......
通过改变氢气对硅烷的稀释比R,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备出具有非晶/微晶相变过渡区的氢化硅薄膜,并研究了所......
目的检测转基因表皮细胞在人工真皮和生物硅膜上能否生长,是否适合作为表皮细胞移植的载体.方法分别将转基因表皮细胞种植于人工真......
本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小......
本文描述了用硅的各向异性择优选择腐蚀与金属剥离技术相结合,研制软 x 射线光刻用的金-硅掩模的基本实验结果。
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在金属-氧化物-半导体集成电路中,以硅栅代替铝栅的方法具有低阈值电压和自对准结构等优点,为国内外广泛采纳。硅栅MOS集成电路对......
半导体器件及集成电路的可靠性,很大程度地依赖于半导体表面的纯化技术。因此,自晶体管发明以来,在半导体器件制造领域,为达到器......
用半绝缘多晶硅(SIPOS)膜代替了平面器件的二氧化硅钝化层。SIPOS膜是掺杂氧原子或氮原子的化学汽相淀积多晶硅,验证了掺氧多晶硅......
本文采用TED、SEM和X光谱分析法研究了在550～750℃范围内用常压CVD法生长非晶硅薄膜的晶化和结构特性。指出了CVD非晶硅的晶化温度......
硅器件和集成电路中广泛使用铝实现低阻的欧姆接触和内部互连线.长期的生产和实践证明铝金属化系统是成功的.小功率晶体管以及一般......
用深能级瞬态谱(DLTS)法测定了有意在硅中掺入的过渡金属的主要深能级位置,发现一个与铁有关的缺陷能级(E_(?)-0.31ev)。并观察了......
本文对硅的电化学自致停腐蚀的原理作了简要分析，利用自制装置实现了硅电化学自致停腐蚀，成功制备出符合光波导要求的ＳＯＩ片。
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本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。结果表明:KOH溶液非常适用于该技术;当几片硅同时进行电化学腐蚀时不会......
研究了掺磷对纳米硅薄膜微结构和电学特性的影响 .指出气相掺杂能使nc Si:H膜中磷原子浓度达到原子分数 5%的水平 ,掺杂效率可达 ......
为描述飞秒激光辐照半导体材料的热力响应过程,扩展了热电子崩力和自恰场两种模型,得到了完全耦合的非线性热弹方程组.在单轴应力......
采用改进的溶胶-凝胶工艺，即将6063铝合金浸入50℃硅溶胶中30分钟后提拉取出、室温固化，在其表面形成硅基防护膜．原子力显微镜（AFM）、扫......
<正>LED灯丝灯是具有360°全发光、无频闪、无蓝光泄出、低热、长寿命、缓衰减等特性的新一代LED照明新光源,在2014年德国法兰克福......
利用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积技术在玻璃表面制备了硅膜.研究了所得硅膜的表面形貌、附着力和化学稳定性及其红外-可见光......
基于Boltzmann方程,采用了Chen J K等人建立的自相关模型,考虑了Si薄膜的热容、热导率、弛豫时间等热力学参量随温度非线性变化的......
考虑到热电子崩力的影响，在基于玻耳兹曼理论弛豫时间近似的非线性自相关模型基础上，将晶格温度与应变速率相耦合，建立了超短脉冲激光......
目的评价研制的金属硅膜支气管封堵器的有效性和安全性。方法取健康杂种犬18条，按随机数字表法分为3组（n=6），分别经支气管镜置入以镍钛......
考虑到载流子和晶格的热容、热导率、弛豫时间等热力学参数随温度非线性变化因素的影响，利用有限差分算法，数值求解了半导体材料自相......
由美国油脂化学家协会（AOCS）主办的在10月6～9日于瑞士蒙特勒（Montreux）举行的2014年世界织物及家居护理用品大会（World Conference on Fa......
为适应SOI技术的发展,探索相关材料参数受辐射影响程度及器件的抗辐射性能,研究了不同硅膜厚度SOI器件的总剂量辐射效应。采用^60C......
量子计算机是未来计算机的主要发展方向，IBM、微软、谷歌和英特尔都在全力开发量子计算机。英特尔公司就在日前表示，他们将与荷兰代......
利用扫描电镜和能谱分析研究天池火山天文峰剖面全新世喷发物中长石表面硅膜的结构状态和化学组成,结果显示：天文峰剖面从顶部黑色......
本文研究了单品－多晶硅Ｐ＋Ｎ结二极管基区载流子寿命与掺杂浓度、晶粒大小 的关系。在重掺杂 Ｐ型单晶硅上，用 ＬＰＣＶＤ法生长多晶硅薄膜，离子注入磷......
研究了ｎ型多晶硅薄膜和铝的欧姆按触、整流接触。在掺杂浓度Ｎ≥２．９×１０１９ ｃｍ－３的情况下为欧姆接触：在掺杂浓度Ｎ≤２．９×１０１８ｃｍ－３的情况下为整流接触； 用ＴＬＭ方法测出......
目的难治性呼吸系统疾病(如支气管扩张、支气管胸膜瘘、难治性气胸等)目前主要是依靠外科肺切除手术或内科保守治疗为主要治疗措施......
本文介绍了一种采用MEMS技术制造的封闭式薄膜Si／Al结构红外热堆探测器。这种直流响应的传感器特点是低功耗、低成本、可在室温温度......
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利用静电驱动原理设计了一种新颖的射频硅膜RF MEMS开关,其开关的优点在于：巧妙的运用CPW传输线的地线作为下电极,加大了开关驱动面......
