全自动FOG邦定机精度研究

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预压对位系统是全自动FOG邦定机中重要的环节之一,该文通过对其图像系统、对位平台两个方面进行研究,对FOG预压邦定的各环节进行了分析,提出了有效的提高精度的方法,并对预压系统的使用方式提出了建议。
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