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本文介绍了微细立体光刻技术的工作原理、基本加工方法和重要意义,并对此技术进行了初步的实践.
微细立体光刻技术
【摘 要】
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本文介绍了微细立体光刻技术的工作原理、基本加工方法和重要意义,并对此技术进行了初步的实践.
【机 构】
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河南机电高专机械工程系!新乡453002,河南煤田地质三队!新乡453003
【出 处】
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河南机专学报
【发表日期】
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1998年1期
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