【摘 要】
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采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜.加热到相应温度(200、250、300、350和400℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化.结果表明:
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000中核四零四有限公司第三分公司,甘肃兰州,732850;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000
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采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜.加热到相应温度(200、250、300、350和400℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化.结果表明:薄膜硬度在200～300℃温度下液氮激冷后,其硬度随热处理温度增加,C-C sp2键逐渐增加;在350～400℃温度下液氮激冷处理后,薄膜的硬度逐渐减小,薄膜呈石墨化趋势;而其弹性恢复在整个处理过程(200～400℃)中随温度升高持续增大,和C-C sp2键变化趋势一致.液氮激冷处理后,含氢非晶碳膜的摩擦系数及磨损量均得到改善,在300℃激冷处理的含氢非晶碳膜具备最低的摩擦系数及磨损量.
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