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微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件，主要用于混合化学组分的分离，采用MEMS技术制作的微型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小，便于集成到便携式设备中，其次，微型器件带来更小的热容量，因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率，从而加快了分析速度，进而改进了器件的整体性能。针对MEMS微型气相色谱柱的研究现状，重点从色谱柱材料选择、柱身布局及其柱内结构、制作工艺、固定相选择及涂敷方式进行了综合分析比较。