【摘 要】
：
报道了在采用LPCVD法制备的富硅SiNx膜中发现的部分晶化的硅镶嵌微结构。视生长条件和工艺不同，该结构的尺度范围从数十到几百纳米不等。利用不同条件下生长的SiNx膜的应力测
【基金项目】
：
国家九五重点科技攻关资助项目~~
论文部分内容阅读
报道了在采用LPCVD法制备的富硅SiNx膜中发现的部分晶化的硅镶嵌微结构。视生长条件和工艺不同，该结构的尺度范围从数十到几百纳米不等。利用不同条件下生长的SiNx膜的应力测试结果和透射电镜观测结果，分析了富硅型SiNx膜的微结构的成因及其与膜内应力之间的相互影响，对富硅型SiNx膜的LPCVD生长工艺进行优化，大大降低了膜的张应力，无支撑成膜面积可达40mm×40mm。通过这一研究结果，实现了LPCVD可控制生长确定张应力的SiNx膜。
其他文献
数控机床是目前机械生产制造领域零部件加工的主要设备,在计算机技术和软件技术快速发展的背景下,数控机床愈发先进,发展至今基本上实现了自动化和智能化控制及管理.但其机械
采用磁控溅射技术，使用混合气体Ar和O2，在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2：Sb透明导电薄膜，通过测定X射线衍射谱，表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向，测量了
2000年3月至2003年1月,笔者应用中西医结合疗法治疗生殖器疱疹48例,报道如下.1临床资料符合诊断标准患者48例,男32例,女16例;年龄20～30岁8例,31～45岁31例,46～60岁9例;初次发病22
基于绿色节能建筑施工技术及实施要点为核心进行研究,首先分析绿色节能建筑工程概述,然后阐述绿色节能建筑施工技术,其主要内容有:地热能技术、太阳能技术等,最后总结绿色节
随着当前国家的经济发展,建筑业正在逐步发展和壮大.在建筑业的发展中,建筑设计作为一个重要的环节对整体工程建设非常重要,在此基础上,文章从建筑设计过程的分析入手,对其设
报道了栅长为1.5μm Au-AlGaN/GaN HFET器件的研制和器件的室温性测试结果。同时，研究了器件经300℃、30min热处理对器件性能的影响，并对比了热处理前后器件的室温特性。实验证
本文对用准泡发射区基区工艺制备的ＳｉＧｅ异质结双极晶体管进行了微波功率性能的研究。ＳｉＧｅ ＨＢＴ在偏置电压ＶＣＥ＝４Ｖ和偏置电流Ｉｃ＝３００ｍＡ时截止频率ｆＴ＝７．５ＧＨｚ。在共射结构Ｃ类工作状态下，ＳｉＧｅ异质结双极晶体管工作在９００ＭＨｚ时，连续波
城市路灯起到照明的作用,为了确保晚间路灯正常亮起,应加强管理路灯安装、电缆铺设的管理工作,并且在管理过程中落实严格的管理规定和规章制度,约束施工人员操作行为,使其自
下桡尺关节半脱位多发于1～5岁儿童,文献报道较少.由于缺乏足够的认识,临床上常有误诊和漏诊.2001年4月至2003年4月,笔者共诊治该病患儿35例,就其诊治问题,浅谈体会如下.
建筑工程具有投资大、周期长、复杂性等特点,为了确保顺利开展,要做好造价管理工作,有利于实现资源优化配置,提高整体经济效益.先介绍基本内容,再从不同方面展开论述,对工程