【摘 要】
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为了改善Al2O3薄膜的制备工艺,本文以硝酸铝为前驱体,采用溶胶-凝胶法,通过研究不同添加剂对溶胶性能的影响,最终选择引入甲基纤维素制备Al2O3薄膜,并讨论了不同干燥过程对凝
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为了改善Al2O3薄膜的制备工艺,本文以硝酸铝为前驱体,采用溶胶-凝胶法,通过研究不同添加剂对溶胶性能的影响,最终选择引入甲基纤维素制备Al2O3薄膜,并讨论了不同干燥过程对凝胶膜表面形貌的影响.通过TG-DTG、XRD、BET、SEM等分析手段,对Al2O3薄膜进行了热稳定性、微观结构、化学组成等方面的测试和分析.实验结果表明,选用20%（质量分数）甲基纤维素时,其溶胶性能最好;常压、环境温度为60℃,相对湿度70%的环境下,可获得完整的、无裂痕的氧化铝凝胶膜;440℃以后薄膜没有质量损失;随着热处理温
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