【摘 要】
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介绍了自行设计的纳秒激光微加工系统的组成和结构,各个部分的功能作用和工作原理,以及基于DSP和FPGA的硬件电路设计。分析了脉冲重复率、激光能量以及二维运动平台速度等参
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072; 天津300072;
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介绍了自行设计的纳秒激光微加工系统的组成和结构,各个部分的功能作用和工作原理,以及基于DSP和FPGA的硬件电路设计。分析了脉冲重复率、激光能量以及二维运动平台速度等参数对加工效果的影响,优化改善了脉冲式激光与二维平台运动的配合。整个系统结构简单,控制方便,稳定可靠,实现了高效率高精度的微加工。
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