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对于镀膜工序来说,基底的清洗是必不可少的一个环节,基底清洁程度是影响镀膜产品质量的关键因素之一,保障元件镀膜前表面高洁净度,降低薄膜内的杂质污染物,镀膜前的洁净清洗至关重要。综述光学滤光片镀膜前常用的基片清洗方法,包括擦拭清洗、超声波清洗、汽相清洗和离子束清洗方法,阐述光学滤光片镀膜前基片清洗工艺和其他清洗技术一样,主要朝绿色环保、全自动、高效、低成本的趋势发展。