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介绍了用于石英晶振真空计的数据采集、气压频率非线性曲线拟合、低气压下温度补偿等诸多的软件设计 .由单片机采集的经 V/ F转换后的输出信号 fp 与石英晶振的谐振频率 fc,由软件实现采集和滤波 ,采用定时中断和外部脉冲计数中断相结合的方法来提高采集的准确性 .通过大量实验结果得出的气压 Pi 和 fp 的关系曲线分4段做非线性曲线拟合 ,当真空度小于 10 Pa时启用事先在微处理器存入的表格进行温度补偿以拓宽测量下限 .经测试 ,在 10 - 5～ 10 - 1 Pa内 ,本真空计的测量精度达 1