微装配技术的发展现状

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【摘要】

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微器件的装配并不是一个新兴的领域,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展,微装配概念发生了根本性的变化,产品的范围和应用领域被拓宽,出现了许多新的技术,它的

【作者】

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席文明吴洪涛朱剑英

【机构】

：

南京航空航天大学

【出处】

：

机械科学与技术

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

发展现状微装配微机电系统微器件 Microassembly(MicroElectroMechanical System) MEMS Micropart

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微器件的装配并不是一个新兴的领域,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展,微装配概念发生了根本性的变化,产品的范围和应用领域被拓宽,出现了许多新的技术,它的发展是与微机电系统(MEMS)、纳米技术(Nanotechnology)密切相关的.本文对微装配技术的发展现状进行了综述,介绍了微装配的特点和使用的许多新技术.

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