Focused ion beam built-up on scanning electron microscopy with increased milling precision

来源 :中国科学:物理学、力学、天文学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hunterring1
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在这个工作,扫描电子显微镜学(SEM ) 的一根集中的离子横梁(小谎) 双横梁系统被集成小谎柱和一个图形发电机到 SEM 上成功地造。实时观察能被 SEM 在小谎 milling 的过程期间认识到。在 nanoscale 政体的各种图形例如行,字符,和图画,在图形生成器的控制下面被完成。而且, FIB milling 行宽度能被减少将近 27% 被同时的电子横梁,和象 10 nm 一样小的行宽度的介绍完成。数字分析显示行宽度上的重要改进被在电子和离子之间的库仑相互作用导致。
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