【摘 要】
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输出功率和光束质量一直以来都是高功率激光器的两大技术难点。本文采用并联主振荡-功率放大（MOPA）相干合成方法来提高输出光束的功率和光束质量。建立多级MOPA相干合成系统模
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输出功率和光束质量一直以来都是高功率激光器的两大技术难点。本文采用并联主振荡-功率放大（MOPA）相干合成方法来提高输出光束的功率和光束质量。建立多级MOPA相干合成系统模型，通过计算分析，得到耦合效率、合成效率对合成功率密度及系统输出功率大小的影响；并对模型略加扩充，得到相位偏差对相干合成功率密度的影响，为高功率激光器的设计提供依据。
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