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文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等,以及它们在MEMS微制造中的应用.
激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
【摘 要】
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文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等,以及它们在MEMS微制
【机 构】
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浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院,桂林电子工业学院,浙江大学生产工程研究所
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2002年3期
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