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系统研究四类石英玻璃受HF酸腐蚀后的表面形貌，以及不同加工方法对其腐蚀表面质量的影响。结果表明，Ⅰ类石英玻璃体相结构中含有大量气泡、颗粒、条纹缺陷，导致其腐蚀表面质量差。Ⅲ、Ⅳ类玻璃体相结构缺陷少，腐蚀表面质量明显优于Ⅰ、Ⅱ类玻璃，切、研、抛加工过程中产生的表面缺陷是其腐蚀表面形貌的主要影响因素。