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为解决金属微结构电铸制造用SU-8胶受热易溶胀的难题,在剖析热溶胀机理的基础上开展了实验研究,结合实验结果针对性提出尺寸补偿法、优化胶模结构和降低温度三项抑制热溶胀的措施。
金属微结构电铸制造用SU-8胶的热溶胀性研究
【摘 要】
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为解决金属微结构电铸制造用SU-8胶受热易溶胀的难题,在剖析热溶胀机理的基础上开展了实验研究,结合实验结果针对性提出尺寸补偿法、优化胶模结构和降低温度三项抑制热溶胀的
【机 构】
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西安重装蒲白煤矿机械有限公司,海克斯康测量技术有限公司
【出 处】
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电子制作
【发表日期】
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2013年6X期
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