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采用化学气相沉积一氧化烧结法，在不同工作压强条件下，制备了惯性约束聚变靶用空心玻璃微球（HGM）。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、VMR显微镜系统和能谱仪对HGM的表面形貌、球形度、壁厚均匀性以及成分进行了表征。分析了工作压强对HGM表面形貌、球形度、壁厚均匀性和成分的影响以及相互关系。研究表明：HGM的表面形貌随工作压强的增大而变得平滑致密，表面均方根粗糙度逐渐减小。随工作压强增大，HGM的球形度没有发生明显变化，而壁厚均匀性得到不断提高，微球中c元素浓度逐渐降低，si元素浓度不断升高，O元素浓度基本