【摘 要】
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一、前言在过去的十年里,小位移的动态激光干涉测量法取得了很大的进展。Ohtsuka 最近对此散了综述性的介绍。当灵敏度的下限到达亚埃级区时,使用双光干涉和光学拍频的动态
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一、前言在过去的十年里,小位移的动态激光干涉测量法取得了很大的进展。Ohtsuka 最近对此散了综述性的介绍。当灵敏度的下限到达亚埃级区时,使用双光干涉和光学拍频的动态干涉测量法可以进行极高灵敏度的测量。与传统的技术不同,Oht-
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