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微电机形成专业化的生产体系,在世界上大约经历了半个多世纪。随着近年来微电子技术的迅速发展和计算机技术的普及,微电机无论从电磁原理设计、加工工艺以及材料应用等方面都突破了传统电机的模式,成为集电机技术、微电子技术、计算机技术、控制技术和精密机械加工技术等多学科互相交叉渗透的机电一体化产品。