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用分子束外延制备红外锑化物激光器和探测器材料
用分子束外延制备红外锑化物激光器和探测器材料
来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nofeeling189
【摘 要】
:
用固态源分子束外延方法,在GaSb衬底上成功地生长出四元系III-V族锑化物单层、多量子阱和激光器、探测器结构材料,并用这些材料制备了2μm波段室温准连续脊波导AlGaAsSb/InGa
【作 者】
:
李爱珍
郑燕兰
林春
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室
【出 处】
:
材料研究学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
锑化物
分子束外延
红外激光器
红外探测器
半导体材料
Infrared devices
Molecular beam epitaxy
Semiconducto
【基金项目】
:
国家高技术研究发展计划(863计划)
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用固态源分子束外延方法,在GaSb衬底上成功地生长出四元系III-V族锑化物单层、多量子阱和激光器、探测器结构材料,并用这些材料制备了2μm波段室温准连续脊波导AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱.
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