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基于变量变换级数展开法,获得了掩埋矩形光波导及脊形光波导的矢量本征模及其传播常数.变量变换使无限平面映射成单位平面,从而使单位平面边界上的电磁场自然为零,消除了非物理反射,提高了计算精度;另外,由于这种方法所导致的矩阵阶数小,因此计算效率较高.分析的结果与已发表的结果吻合较好,可以为优化波导光电子器件的结构提供参考.