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MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔。本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在MEMS压力传感器工艺设计的可行性。
一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真
【摘 要】
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MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔。本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在MEMS压力传
【机 构】
：
沈阳化工大学
【出 处】
：
电子世界
【发表日期】
：
2016年19期
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