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多晶硅是一种重要的半导体材料,广泛地应用于现代电子工业中。硅元件作为控制设备的器件,是电子计算机中不可缺少的部件。本文介绍了多晶硅的性能、用途及制备工艺。
多晶硅的性能及应用
【摘 要】
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多晶硅是一种重要的半导体材料,广泛地应用于现代电子工业中。硅元件作为控制设备的器件,是电子计算机中不可缺少的部件。本文介绍了多晶硅的性能、用途及制备工艺。
【机 构】
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天津化工厂
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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1989年1期
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