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概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展，详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响，总结出提高附着力的主要方法，并分析了金刚石薄膜的应用状况，指出了扩大金刚石薄膜应用的新方向及存在的主要问题。
提高CVD金刚石薄膜附着力的方法及其研究进展
【摘 要】
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概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展，详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响，总结出提高附着力的主要
【机 构】
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郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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河南省科技攻关(0624250014);郑州大学培育基金
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