晶圆复杂制造系统在线优化调度系统研究

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为更好地实现晶圆企业的绩效指标,与传统半导体生产优化研究方法不同,以生产线平衡为优化目标,提出了一个多重入晶圆复杂制造系统在线优化调度系统(OOSS)。该系统融合了生产线平衡思想、Dram-Buffer-Rope思想以及分层调度优化思想,形成一个拉式调度优化系统,并能根据系统状态的变化动态地生成系统仿真模型,保证了仿真结果的有效性。进一步仿真实验表明该系统的有效性。
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