微米和毫微米线量的激光干涉式测量

来源 :青岛大学学报:工程技术版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:m104129495
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提出一种微米和毫米量级量的激光干涉式实时测量方法,分析了光路中应用直角双棱镜的作用和电路中消除振动影响的方法,列出实测结果说明方法正确的。
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