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期刊论文
微米和毫微米线量的激光干涉式测量
微米和毫微米线量的激光干涉式测量
来源 :青岛大学学报:工程技术版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:m104129495
【摘 要】
:
提出一种微米和毫米量级量的激光干涉式实时测量方法,分析了光路中应用直角双棱镜的作用和电路中消除振动影响的方法,列出实测结果说明方法正确的。
【作 者】
:
史广安
【机 构】
:
青岛大学
【出 处】
:
青岛大学学报:工程技术版
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
微米
毫微米线量
激光干涉
测量
Laserinterference
Displacement
Squareprism
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提出一种微米和毫米量级量的激光干涉式实时测量方法,分析了光路中应用直角双棱镜的作用和电路中消除振动影响的方法,列出实测结果说明方法正确的。
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