【摘 要】
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本文討論产生失效的主要因素、工艺过程及其控制与器件质量和可靠性的关系,以及用来确定质量等級的測試方法和能夠利用来区分某些器件质量等級的篩选方法等方面。文中介紹了
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本文討論产生失效的主要因素、工艺过程及其控制与器件质量和可靠性的关系,以及用来确定质量等級的測試方法和能夠利用来区分某些器件质量等級的篩选方法等方面。文中介紹了用几种类型的封装和几种器件工艺过程制作的晶体管、双极电路以及MOS集成电路的失效率。
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