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采用金属有机分解法(MOD)在Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)薄膜.用X-射线衍射技术研究了BLT薄膜的结构和结晶性.用原子力显微镜分析了BLT薄膜的表面形貌.同时还研究了薄膜的介电和存储性能.
金属有机分解法制备Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜
【摘 要】
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采用金属有机分解法(MOD)在Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)薄膜.用X-射线衍射技术研究了BLT薄膜的结构和结晶性.用原子力显微镜分析了BLT薄膜的表面形貌.同时还
【机 构】
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山东大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2003年1期
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