离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bfxbfxabc

【摘要】

：

AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力.采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能谱(XPS)和电容-电压/电流-电压(C-V/I-V)等

【作者】

：

宋朝瑞俞跃辉邹世昌郑志宏

【机构】

：

中国科学院

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

ALN薄膜离子束增强沉积(IBED) 电绝缘性能 AlN thin film IBED dielectric properties

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力.采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能谱(XPS)和电容-电压/电流-电压(C-V/I-V)等方法对AlN薄膜的微观结构和绝缘性能进行了研究,得到了影响薄膜电绝缘性能的主要参数.研究结果表明,沉积过程中向IBED系统通入一定的氮气可有效提高薄膜的N/Al,使其接近化学计量比(从0.53∶1到0.81∶1)及电绝缘性能(击穿电场约为1.42 MV/cm).

其他文献

坚持以人民为中心努力提升民政工作水平

党的十八大以来，以习近平同志为核心的党中央旗帜鲜明地把人民对美好生活的向往作为奋斗目标，提出了以人民为中心的发展思想。这一重要思想充分彰显了我们党始终坚持以人民为中心的初心使命、价值追求和执政为民的责任担当，是新时代党和国家各项工作的行动指南，为民政事业发展指引了立场、目标、方向和方法。　　一、深刻领会以人民为中心的发展思想对新时代民政工作的重大指导意义　　人民立场是中国共产党根本政治立场，是马克

期刊

人民立场民政工作马克思主义政党中国共产党美好生活重要思想责任担当执政为民

“特赛米先”与“顽宫速康”治疗奶牛子宫内膜炎的效果观察

子宫内膜炎是奶牛中的常见疾病,该病是造成奶牛不孕的主要生殖疾病,在兽医临床被视为顽症。如不及时治疗,常造成病牛长期不孕,严重的患牛会失去饲养价值,最终淘汰。子宫内膜

期刊

奶牛子宫内膜炎治疗奶牛不孕兽医临床常见疾病生殖疾病饲养价值生产性能

溶胶—凝胶法制备钛酸锶钡薄膜

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备钛酸锶钡(BST)薄膜,采用快速热处理(RTA)对薄膜进行烧结.利用DSC、XRD、SEM等技术分析了钛酸锶钡凝胶的热解过程,以及不同溶胶浓度下薄膜的晶粒

期刊

薄膜溶胶-凝胶钛酸锶钡快速热处理介电常数Sol-GelBa_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3RTAdielectric constant

Li0.025Na0.975NbO3晶体的介电和铁电性质

观察了Li0.025Na0.975NbO3晶体的电滞回线,并研究了它在400 °C以下的介电温谱和室温时500 MHz以下的介电频谱.其介电温谱的峰值在升温和降温时分别出现在380 °C和3

期刊

铁电相变电滞回线介电弛豫Li0.025Na0.975NbO3晶体介电频谱ferroelectric phase transition P-E hys

城市地下综合管廊施工监测技术的应用

所谓综合管廊,就是地下城市管道综合走廊,在城市地下建设的一条通道,把电力、通信及燃气等管道进行整合,设定统一的检修及监测系统,实现对管道的统一管理和维护,是确保城市顺

期刊

城市地下综合管廊施工技术监测技术

基于DSP和DDS技术的AOTF驱动系统设计

介绍了基于数字信号处理器（SDP）和直接数字频率合成器（DDS）的声光可调谐波光器（AOTF）驱动系统的设计问题，其中包括DDS的使用方法、DDS与DSP的接口设计、运放电路选择以及采用MOSFET

期刊

声光可调谐滤波器数字信号处理器直接数字频率合成器驱动系统AOTFDSPDDSdriving system

压电线性马达与纳米马达

国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用.它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时

期刊

压电线性马达纳米马达驱动器piezoelectric linear motor nanomotor actuator

还原气氛对表面层陶瓷电容器介电性能的影响

在材料组成、烧结工艺不变的情况下,系统研究了还原气氛对Y5V、Y5U、Y5P型表面层半导体陶瓷电容器瓷片半导化电阻率、瓷片介电性能的影响.研究结果表明,半导体陶瓷电容器的容

期刊

BATIO3电容器半导体陶瓷表面层BaTiO_3capacitor semiconductive ceramic surface layer

闯关东文化在东北地区高校思政工作中的可行性应用研究

闯关东文化是东北地区特有的移民文化代表,也是劳动人民凭借自己的努力同未知生存环境进行斗争的成功典范,彰显着近代以来东北地区民众的风骨。东北地区的高校多数建立在新中

期刊

闯关东文化思想政治教育

离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究

其他学术论文