【摘 要】
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从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性，给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题，提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微
【机 构】
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重庆大学通信工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所
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从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性，给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题，提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型，为验证外围电路提供了基础。仿真结果与理论模态分析相一致，验证了模型的有效性。通过谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础，使工作模态远离其他高阶模态；合理安排激励电极，抑制一阶模态扰动。敏感性仿真表明：在横向振动微谐振器中，工作模态谐振频率随梁长的增加而减小；随梁宽的增加而增大；结构层厚度对横向振
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