静电梳齿微谐振器相关硕士博士期刊学术论文

从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性，给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题，提......