脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:siany
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采用脉冲激光沉积法制备无氢SiC薄膜,研究了激光能量对SiC薄膜结构和红外光学性能的影响规律。利用傅立叶红外光谱仪测量了锗基底SiC薄膜样品的红外透射光谱,其在785cm-1附近有一个强烈Si-C键特征吸收峰,并在红外波数4000~1300cm-1之间具有良好的透过性。通过对透射光谱拟合计算可知:在红外波段2.5~7.7μm之间,SiC薄膜的折射率和消光系数均随着激光能量的增加而增大,折射率大约从2.15上升到2.33,且当激光能量为400mJ和500mJ时,消光系数均在10-3量级以内,光学吸收很小。研究表明,SiC薄膜在红外2.5~7.7μm波段是一种优异的光学薄膜材料。
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