【摘 要】
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随着化合物半导体逐步发展,在工业上正由研究阶段向生产阶段迈进。但是,为了能得到象目前硅那样的进展,目前还有许多技术问题有待解决,(1) 大型低价化;(2) 低位错密度;(3)
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随着化合物半导体逐步发展,在工业上正由研究阶段向生产阶段迈进。但是,为了能得到象目前硅那样的进展,目前还有许多技术问题有待解决,(1) 大型低价化;(2) 低位错密度;(3) 特别是技术上要求半绝缘性结晶的杂质控制。
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