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介绍了几种测量膜厚的干涉测量方法，对各种测量方法进行了分类，分析了各种测量方法的特点及参达到的技术指标。
干涉法测量膜厚技术现状
【摘 要】
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介绍了几种测量膜厚的干涉测量方法，对各种测量方法进行了分类，分析了各种测量方法的特点及参达到的技术指标。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1997年2期
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