大型非球面能动磨盘精磨技术

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计算机控制能动磨盘加工技术是集传统加工技术、能动技术和数控技术为一体的大型非球面光学元件先进制造技术。基于Preston方程,通过对能动磨盘结构的研究,建立了工件的能动磨盘磨削函数;分析了能动磨盘分别位于工件中心孔和外缘处产生的边缘效应,并建立相应的边缘效应函数;由此得到用于描述能动磨盘加工的数学模型。在该模型的指导下完成了Φ1200 mm(F/1.5)非球面主镜能动磨盘精磨加工,实现了主镜面形误差的均方根值从4.5μm(峰谷值26.8μm)收敛到0.36μm(峰谷值2.8μm)。 Computer-controlled active disc processing technology is a set of traditional processing technology, dynamic technology and numerical control technology as one of the large aspheric optical components advanced manufacturing technology. Based on the Preston equation, the dynamic grinding disc grinding function of the workpiece is established by studying the structure of the active grinding disc. The edge effect of the active grinding disc located at the center hole and the outer edge of the workpiece is analyzed and the corresponding edge effect function is established. The mathematical model used to describe the active disc processing is obtained. The Φ1200 mm (F / 1.5) aspherical primary mirror active grinding disc was finished under the guidance of the model, and the root mean square error of the primary mirror shaped error was converged from 4.5μm (peak-to-valley value 26.8μm) to 0.36μm (Peak valley value 2.8 μm).
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