【摘 要】
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介绍了将 AL CATEL 公司生产的一台 ATP10 0涡轮分子泵、一台 MDP5 0 11牵引分子泵及一台 VRC公司生产的 1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所,中国科学院高能物理研究所,中国科学院高能物理研究所 北京100039,北京100039,北京100039
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介绍了将 AL CATEL 公司生产的一台 ATP10 0涡轮分子泵、一台 MDP5 0 11牵引分子泵及一台 VRC公司生产的 1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷 ,较好地满足了使用要求 ,为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据
The process of assembling one ATP10 turbo molecular pump, one MDP5 0 11 traction molecular pump manufactured by AL CATEL Company and a 1By6 dry pump manufactured by VRC Company into an oil-free molecular pump unit is introduced. The paper gives the calculation of the cooperation between the pump, the design of the unit program, the design of the connecting pipe and the instrument support, and the selection. The design adopted by this unit made all three pumps maximize their advantages, avoided the defects and met the requirements of usage so as to provide reliable theory and experiment for the future purchase of single pump and assembly of oil-free molecular pump units in accordance with
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