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微型机械和传感器的机械性能不仅依赖于制造工艺，而且取决于构件的尺寸。构件的薄膜厚度是影响其机械性能的参数之一，应在微加工过程中进行测量和控制。本文提出利用红外反射光谱，根据光束在薄膜上下两面反射光的程差通过计算测量膜厚度的方法。该方法测量速度快，精度高，对薄膜无破坏作用。测量范围为５～４００μｍ，分辨率０．０５μｍ，适于薄膜厚度的在线测量和控制。