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针对半导体行业清洗空气泵的较高洁净度和稳定性品质要求,在现有泵的基础上推翻原有设计理念,研究和设计出了由驱动与升压二部分的组成的该新型组入式不锈钢高压空气泵。本文综述了国内外半导体泵的发展现状,分析了设计的必要性,明确了泵技术指标,组成和工作原理。
组入式高压空气泵在单片喷淋清洗机研究与应用
【摘 要】
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针对半导体行业清洗空气泵的较高洁净度和稳定性品质要求,在现有泵的基础上推翻原有设计理念,研究和设计出了由驱动与升压二部分的组成的该新型组入式不锈钢高压空气泵。本文
【机 构】
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中国社会科学院研究生院
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2018年11期
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