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针对数字化测量的技术特点，提出在三维电场定位原理基础上，依靠电阻抗模型的电势梯度进行工件几何尺寸测量的新方法。利用Maxwell电磁仿真软件对所建立的模型进行分析，得出定位极板参数的变化对电场均匀性和方向性的影响规律。实验结果表明：重构模型与实物的最大偏差和尺寸相对误差均在允许误差范围之内，验证了模型的正确性。