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本文叙述了国际上电子束曝光技术的发展趋势,分析了我国电子束曝光技术的发展现状,回顾了电子部四十八所电子束曝光技术的进展及其在微电子器件制造中成功的应用。
集成电路与半导体器件制造中的电子束曝光技术
【摘 要】
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本文叙述了国际上电子束曝光技术的发展趋势,分析了我国电子束曝光技术的发展现状,回顾了电子部四十八所电子束曝光技术的进展及其在微电子器件制造中成功的应用。
【机 构】
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电子部第48研究所长沙410111
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年1期
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