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LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构,满足新型正电子慢化体的制备要求.本文报道了用LIGA技术制作正电子慢化体的实验研究.
LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究
【摘 要】
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LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中,能获得传统加工方法无法制作
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所,中国科学院高能物理研究所,北京工业大学国家产学研激光技术中心
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2002年10期
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