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综述了化学气相沉积异质外延金刚石薄膜机理及工艺的研究现状,分析了存在的问题,并对今后的研究进行了展望.
金刚石薄膜异质外延的研究状况与展望
【摘 要】
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综述了化学气相沉积异质外延金刚石薄膜机理及工艺的研究现状,分析了存在的问题,并对今后的研究进行了展望.
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2002年10期
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