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采用多弧离子镀技术在硅片和316L不锈钢上制备了CrN和CrCN涂层，利用扫描电镜（SEM）、电子能谱（EDS）、透射电镜（TEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）对其表面形貌及成分进行表征，采用纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机测试涂层力学及摩擦学性能，观察试样磨损形貌，并分析其磨损机理。结果表明：较之于CrN涂层，所制备的CrCN涂层具有更均匀、致密的结构，与基体结合良好；涂层主要成分为Cr、C和N，其中C元素主要以sp^2、sp^3和C—Cr键的形式存在；CrCN涂层中由于强化相Cr7C3的产生和