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一、引言一般地讲,半导体器件,包括半导体集成电路都是有选择性地将一定种类和一定浓度的杂质,掺入半导体内;或在半导体表面上淀积(生长)新层的办法制作的。这些结构材料中,电活性杂质浓度,即载流子浓度,将决定所成器件的电学特性或光电子学特性。这就是说,在昂贵和费时的半导体器件残半导体光电器件制作过程中,如杂质扩散、