一种基于光子晶体结构的新型MEMS红外光源

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wfn031641lpp

【摘要】

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结合光子晶体和表面等离子体共轭（surface plasmon resonance，SPR）技术，研究了一种新型的MEMS红外光源．相比传统的红外光源，该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位置可调等优点．该

【作者】

：

王国勋纪新明周嘉包宗明鲍敏杭黄宜平

【机构】

：

复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

表面等离子体共振微机电系统红外光源波峰强度反射率 surface plasmon resonance （SPR） micro-electro-mech

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结合光子晶体和表面等离子体共轭（surface plasmon resonance，SPR）技术，研究了一种新型的MEMS红外光源．相比传统的红外光源，该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位置可调等优点．该光源衬底材料为硅，然后在硅表面形成SiO2-Cr-Au结构，并在Si-SiO2-Cr-Au结构表面形成刻蚀深度为2pm、孔间距分别为7μm和8μm（孔直径分别为3．5μm和4μm）等不同的周期性排列圆孔的光子晶体结构．采用有限元时域分析（finite-difference time-domain，FDT

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